01376nam1a22002891i 4500 rc\3237385 20241212193316.0 RU [73-15143] RU [73-14524] (NLR Aleph) 007474486 7450983 7450983 20130115g1972 |||y0rusy50 ca rus RU z ||||| Физические основы ионно-лучевого легирования Материалы науч.-конф. Июнь, 1971 г., Горький [Редколлегия: П.В. Павлов (ред.) и др. М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Горьк. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского. Горьк. исслед. физ.-техн. ин-т "ГИФТИ". Ч. 1]- Горький Б. и. 1972- 25 Списки лит. в конце докл. Полупроводники Легирование ионное Сборники psbo Павлов П.В. 340 570 Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского 791805 RU\NLR\AUTH\880562350 RU NLR psbo RU ELAR rusmarc NLR 73-7/137 BOOK