TY  - BOOK
AU  - Павлов, П.В.
ED  - Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
TI  - Физические основы ионно-лучевого легирования
PY  - 1972///-
CY  - Горький
PB  - Б. и.
KW  - Полупроводники
KW  - Легирование ионное
KW  - Сборники
KW  - psbo
N2  - Списки лит. в конце докл
ER  -