TY  - BOOK
AU  - Мевис, А.Ф.
AU  - Некрасова, А.Ю.
AU  - Полутин, В.С.
TI  - Физические основы конструирования, технологии и микроэлектроники
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - МИРЭА
N2  - Библиогр.: с. 77
ER  -