TY  - BOOK
AU  - Светцов, В.И.
TI  - Особенности распыления различных материалов при разряде в химически активных средах
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 979Вып. 5
PY  - 1983///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 33-39
ER  -