TY  - BOOK
AU  - Мартынов, В.В.
TI  - Интегральные схемы с микронными и субмикронными размерами
T2  - Труды Института инженеров по электротехнике и радиоэлектронике
VL  - Т. 71 № 5. Темат. вып.
PY  - 1983///
CY  - М.
PB  - Мир
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -