TY  - BOOK
AU  - Тугарин, В.Г.
ED  - Межведомственное науч.-техн. совещ. по метрике полупроводниковых структур
TI  - Методы и средства контроля полупроводниковых и диэлектрических структур
T2  - Тезисы докладов конференций
VL  - Вып. 232Вып. 2
PY  - 1986///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр. в конце докл
ER  -