TY  - BOOK
AU  - Махвиладзе, Т.М.
TI  - МОДЕЛИРОВАНИЕ технологических процессов микроэлектроники
T2  - Труды ФТИАН
VL  - Т. 3
PY  - 1992///
CY  - М.
PB  - Наука
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -