@book{7587393,
	author = {Матвеев, Ю. А. and Батурин, В. Е.},
	title = {Метод многокристальной рентгеновской дифрактометрии и технологии контроля процессов изготовления ИЭТ},
	publisher = {Изд-во ЦНИИ "Электроника"},
	year = {1984},
	series = {Обзоры по электронной технике},
	address = {М.},
	note = {В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР}
}