TY - BOOK AU - Знаменский, Р.Б. ED - ВНИИ охраны труда TI - Методические рекомендации по обеспечению параметров воздушной среды при производстве изделий микроэлектроники PY - 1987/// CY - Л. PB - ВНИИОТ N2 - Библиогр.: с. 67-68 (21 назв.) ER -