TY  - BOOK
AU  - Панченко, В.Я.
AU  - Семиногов, В.Н.
AU  - Ходобенко, Л.И.
TI  - Лазерно-индуцированная генерация поверхностного микрорельефа при пиролитическом травлении и осаждении металлов полупроводников диэлектриков и фотохимическом травлении полупроводников
T2  - Препринт
VL  - 37
PY  - 1987///
CY  - Троицк
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 31-32
ER  -