TY  - BOOK
ED  - СССР
TI  - Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов
T2  - Министерство электронной промышленности СССР. Тематические указатели литературы
PY  - 1972///
CY  - [Москва]
PB  - ОНТИТЭИ
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
KW  - Указатели литературы
KW  - psbo
KW  - Пленки тонкие
ER  -