TY  - BOOK
AU  - Рондарев, В.С.
AU  - Трофимов, В.А.
AU  - Яськов, А.Д.
AU  - Прокопенко, В.Т.
TI  - Неразрушающий контроль качества полупроводниковых материалов с использованием газовых ОКГ
T2  - Серия "Прогрессивные методы обработки металлов и сплавов"
PY  - 1976///
CY  - Ленинград
PB  - ЛДНТП
KW  - Полупроводники
KW  - Производство
KW  - Технический контроль
KW  - Оптические методы
KW  - psbo
KW  - Генераторы квантовые
KW  - Применение в технике
N2  - Список лит.: с. 32 (12 назв.)
ER  -