TY  - BOOK
AU  - Палатник, Л.С.
AU  - Сорокин, В.К.
TI  - Основы пленочного полупроводникового материаловедения
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Полупроводниковые пленки
KW  - psbo
N2  - Список лит.: с. 285-293 (170 назв.)
ER  -