TY  - BOOK
AU  - Панкратьев, Е.М.
AU  - Рюмин, В.П.
AU  - Щелкина, Н.П.
TI  - Технология полупроводниковых слоев двуокиси олова
PY  - 1969///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Олово, двуокись
KW  - Применение в качестве покрытия
KW  - psbo
KW  - Пленки тонкие
KW  - Нанесение на подложку
N2  - Библиогр.: с. 54-55 (33 назв.)
ER  -