TY  - BOOK
AU  - Мазель, Е.З.
AU  - Пресс, Ф.П.
TI  - Планарная технология кремниевых приборов
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
KW  - psbo
N2  - Список лит.: с. 368-382
ER  -