TY - BOOK AU - Манукян, Э.М. TI - Новые направления и перспективы развития микроэлектроники T2 - Заочные курсы усовершенствования ИТР по микроминиатюризации в приборостроении PY - 1972/// CY - Москва PB - Машиностроение KW - Микроэлектроника KW - psbo N2 - Список лит.: с. 79 (12 назв.) ER -