TY  - BOOK
AU  - Новиков, Ю.А.
TI  - РЭМ-изображение щелевидных субмикронных структур в кремнии
T2  - Препринт
VL  - № 26
PY  - 1991///
CY  - М.
PB  - Б. и.
KW  - Кремний
KW  - Структура
KW  - nlr_sh1
N2  - Библиогр.: с. 23
ER  -