TY  - BOOK
TI  - Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методами Монте-Карло
PY  - 1991///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука. Сиб. отд-ние
KW  - Полупроводниковые пленки
KW  - Выращивание
KW  - nlr_sh1
N2  - Библиогр.: с. 150-162
ER  -