TY  - BOOK
ED  - "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", всероссийский семинар
TI  - По материалам VI Всероссийского семинара "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", Нижний Новгород, 15-17 окт. 2002 г
T2  - Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского
VL  - Вып. 1(6)
PY  - 2001///
CY  - Н. Новгород
PB  - Изд-во ННГУ
KW  - Ионная имплантация
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - RU\NLR\auth\66473928
KW  - В373.1я431
N2  - Библиогр. в конце докл
ER  -