TY  - BOOK
AU  - Блочер, Дж.
AU  - Лунэм, А.
AU  - Детторр, Дж.
AU  - Пауэлл, К.
AU  - Юрченко, М.И.
TI  - Осаждение из газовой фазы
PY  - 1970///
CY  - Москва
PB  - Атомиздат
KW  - Осаждение (хим.) из газовой фазы
KW  - psbo
N2  - Библиогр. в конце глав
ER  -