TY  - BOOK
AU  - Белевский, В.П.
ED  - Украинский респ. дом экон. и науч.-техн. пропаганды
TI  - ИМПУЛЬСНАЯ ионная обработка и осаждение тонких пленок и покрытий
T2  - В помощь лектору и специалисту
PY  - 1991///
CY  - Киев
PB  - РДЭНТП
KW  - Тонкие пленки
KW  - Осаждение
KW  - nlr_sh1
KW  - Обработка ионно-плазменная
N2  - Библиогр.: с. 20-21
ER  -