TY  - BOOK
AU  - Bagraev, N. T.
AU  - Kljačkin, L. E.
AU  - Suchanov, V. L.
TI  - Fractal diffusion in silicon
T2  - Preprint
VL  - 1498
PY  - 1991///
CY  - Leningrad
PB  - ФТИ
KW  - Кремний
KW  - Примеси
KW  - Диффузия
KW  - nlr_sh1
KW  - З843.322.408
KW  - rubbk
N2  - Библиогр.: с. 15
ER  -