TY  - BOOK
AU  - Елинсон, М.И.
AU  - Смолко, Г.Г.
AU  - Глэнг, Р.
AU  - Майссел, Л.И.
TI  - Технология тонких пленок
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - "Советское радио"
KW  - Полупроводниковые пленки
KW  - Получение
KW  - Справочники
KW  - nlr_sh
KW  - RU\NLR\AUTH\661261460
KW  - З844.13-06я22
KW  - rubbk
ER  -