TY  - BOOK
ED  - "Физико-химические, электрофизические методы анализа твердотельных сред и технологические способы обработки полупроводниковых и диэлектрических материалов, перспективных в элементах микроэлектроники", семинар (1968; Новосибирск)
TI  - Тезисы докладов
PY  - 1968///-
CY  - Новосибирск
PB  - Б. и.
ER  -