TY  - BOOK
AU  - Шитова, Э.В.
AU  - Ваганова, В.Н.
AU  - Павлов, П.В.
AU  - Зорин, Е.И.
TI  - Установка для получения пленок нитрида кремния
T2  - Передовой научно-технический и производственный опыт
VL  - № 5-68-423/29
PY  - 1968///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
ER  -