TY - BOOK AU - Павлов, П.В. ED - Всесоюзное совещание по диффузии в полупроводниках TI - Диффузия в полупроводниках PY - 1967/// [пер. 1969] CY - Горький PB - Б. и. KW - Полупроводники KW - Диффузия KW - Сборники KW - psbo N2 - Библиогр. в конце докладов ER -