TY  - BOOK
AU  - Арешкин, А. А.
TI  - Зондовые методы контроля электрофизических интегральных микросхем
SN  - 5-7339-0374-0
PY  - 2003///
CY  - М.
PB  - Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики (техн. ун-т)
KW  - Интегральные схемы
KW  - Производство
KW  - Технический контроль
KW  - Зондовые методы
KW  - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
KW  - nlr-sh1
KW  - RU\NLR\auth\661382496
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr-sh2
KW  - З844.15-06-7с.я73-1
N2  - Библиогр.: с. 45-46 (14 назв.)
ER  -