TY - BOOK ED - Публичная научно-техническая библиотека СССР TI - Техника получения и измерения высокого и сверхчувствительного вакуума T2 - Актуальные проблемы техники PY - 1967/// CY - Москва PB - Б. и. KW - Вакуум сверхвысокий KW - Библиография KW - psbo KW - Вакуум высокий ER -