TY  - BOOK
AU  - Тригуб, В. И.
AU  - Плотнов, А. В.
AU  - Потатина, Н. А.
TI  - Методы исследования материалов и структур электроники
SN  - 5-93272-169-3
PY  - 2002///
CY  - Н.Новгород
PB  - НГТУ
KW  - Интегральные схемы
KW  - Материалы
KW  - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
KW  - nlr-sh1
KW  - RU\NLR\auth\66368289
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr-sh2
KW  - Технический контроль
KW  - RU\NLR\auth\66479068
KW  - З844.15-06-7с.я73-1
KW  - З844.15-03-1с.я73-1
N2  - Библиогр. в конце кн. (27 назв.)
ER  -