TY - BOOK AU - Конова, В.А. TI - Влияние удельного сопротивления на процесс анодного растворения кремния T2 - Объединенный институт ядерных исследований. [Издания] VL - 12-3126 PY - 1967/// CY - Дубна PB - Б. и. N2 - Библиогр.: с. 7 ER -