TY  - BOOK
ED  - "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон", акционерное общество
TI  - 1-я научно-техническая конференция АООТ "НИИМЭ" и завод "МИКРОН"
SN  - 5-8-6483-073-9
PY  - 1998///
CY  - Москва, Зеленоград
PB  - МИКРОН-Принт
KW  - Сверхбольшие интегральные схемы
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - nlr-sh2
KW  - RU\NLR\auth\661298999
KW  - З844.15я431(2)
ER  -