@book{9248137,
	author = {Fursenko, A. A.},
	title = {Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films},
	publisher = {ФТИ},
	year = {1992},
	series = {Preprint},
	address = {St.-Petersburg},
	note = {На обороте тит. л.: Математическое моделирование процессов переноса реагентов в подложке в современных технологиях осаждения тонких пленок / А. А. Фурсенко и др.}
}