TY  - BOOK
AU  - Fursenko, A. A.
TI  - Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films
T2  - Preprint
PY  - 1992///
CY  - St.-Petersburg
PB  - ФТИ
KW  - Тонкие пленки
KW  - Осаждение
KW  - Математическое моделирование
KW  - RU\NLR\AUTH\661129977
KW  - Санкт-Петербург
KW  - З844.13-01с11
KW  - rubbk
N2  - Библиогр. в конце томов
ER  -