TY  - BOOK
AU  - Горин, С.Н.
TI  - Травление полупроводников
PY  - 1965///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Полупроводники
KW  - Травление
KW  - Сборники
KW  - psbo
N2  - Библиогр. / Сост. С.Н. Горин: с. 338-362 (393 назв.) и библиогр. в конце статей
ER  -