TY  - BOOK
AU  - Карпов, Д. А.
AU  - Литуновский, В. Н.
TI  - Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях
T2  - Обзор
VL  - О-104
SN  - 5-87911-095-8
PY  - 2009///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - ФГУП "Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры"
KW  - Материалы
KW  - Плазменная обработка
KW  - RU\NLR\auth\661303011
KW  - Ионная имплантация
KW  - RU\NLR\auth\66473928
KW  - плазменное нанесение покрытий
KW  - З844.1-060.7-1с3,0
KW  - rubbk
KW  - Ж624
KW  - В373.1
N2  - Библиогр.: с. 57-62
ER  -