TY  - BOOK
AU  - Попова, Л.В.
TI  - Способы изготовления металлических масок для напыления тонкопленочных схем
T2  - Обзоры научно-технической литературы по электронной технике
VL  - Обзор № 22
PY  - 1967///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 15-16
ER  -