TY  - BOOK
AU  - Хагструм, Х.
AU  - Лоу, Дж.
AU  - Эйзингер, Дж.
AU  - Аллен, Ф.
AU  - Шереметьева, И.Л.
TI  - Очистка поверхности кремния нагреванием в высоком вакууме
T2  - Перевод
VL  - № 11 (99)
PY  - 1961/// [обл. 1960]
CY  - [Москва
PB  - Отд. науч.-техн. информации]
KW  - Кремний
KW  - Очистка поверхности
KW  - Иностранный опыт
KW  - psbo
N2  - Библиогр.: с. 31 (20 назв.)
ER  -