01462nam0a22002531  4500001001000000005001700010035002600027100004100053101000800094102000700102105001800109200048200127210008000609215002200689320003000711606019100741700006000932701005000992701007601042801001801118801002201136801003101158852001901189rc\14848020250612170003.0  a(NLR Aleph) 008739749  a20030307d1991    |||y0rusy50      ca0 arus  aRU  aa   |||||||||1 aВакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техникиeУчеб. пособиеe[Для студентов IV-VI курсов спец. 2006 - "Электрон. машиностроение"]fВ.В. Вислоух, Н.Я. Дривинг, Е.К. КуломзинgГос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк. Моск. ин-т электрон. машиностроения  aМ.cМоск. ин-т электрон. машиностроенияd1991  a54 с.cил.d19  aБиблиогр.: с. 531 aВакуумное оборудование для производства микросхемjРуководства, пособия и т.п. для высшей школы2nlr_sh1 1aВислоухbВ.Е.gВадим Евгеньевич 1aДривингbН.Я.gНина Яновна 1aКуломзинbЕ.К.gЕвгений Константинович 0aRUbNLRgpsbo 1aRUbELAR2rusmarc 2aRUbNLRc200504192rusmarc  aNLRj92-4/2577