TY  - BOOK
AU  - Вислоух, В.Е.
AU  - Дривинг, Н.Я.
AU  - Куломзин, Е.К.
TI  - Вакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техники
PY  - 1991///
CY  - М.
PB  - Моск. ин-т электрон. машиностроения
KW  - Вакуумное оборудование для производства микросхем
KW  - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
KW  - nlr_sh1
N2  - Библиогр.: с. 53
ER  -