TY  - BOOK
AU  - Герасименко, Н. Н.
AU  - Пархоменко, Ю. Н.
TI  - Кремний - материал наноэлектроники
T2  - Мир материалов и технологий
SN  - 5-94836-101-2
PY  - 2007///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - Кремний
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\6691702
KW  - Наноэлектроника
KW  - RU\NLR\auth\661468617
KW  - З844.1-03я73-1
KW  - З843.322.4я73-1
N2  - Библиогр.: с. 342-346 (121 назв.)
ER  -