TY - BOOK AU - Клерсон-Лич, Р. TI - Инженерные основы измерений нанометровой точности SN - 9785915591195 PY - 2012/// CY - Долгопрудный PB - Интеллект KW - Нанометрология KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\AUTH\6601543671 KW - 006.91:620.3 KW - 4 KW - rus KW - 30.6 KW - LBC/PL KW - rubbk KW - 30.10 KW - Ж10 N2 - Библиогр. в конце гл ER -