TY  - BOOK
AU  - Арифов, У.А.
ED  - Институт электроники (Ташкент)
TI  - Кристаллизация тонких пленок
PY  - 1970///
CY  - Ташкент
PB  - Фан
KW  - Полупроводниковые пленки
KW  - Получение
KW  - Сборники
KW  - psbo
N2  - Библиогр. в конце статей
ER  -