TY  - BOOK
AU  - Балан, Н. Н.
AU  - Васин, В. А.
AU  - Ивашов, Е. Н.
AU  - Степанчиков, С. В.
TI  - Микроинженерия монокристаллического кремния
SN  - 978-5-905872-14-3
PY  - 2012///
CY  - Б. м.
KW  - Монокристаллы
KW  - Выращивание
KW  - Чохральского метод
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\66842030
KW  - В375.147
N2  - Библиогр.: с. 162-190 (269 назв.)
ER  -