Методы и средства контроля процессов и структур in situ : учебное пособие для студентов, магистрантов и аспирантов направлений "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии"; в 2 ч. / Сарат. гос. ун-т им. Н.Г. Чернышевского ; [Д.И. Биленко и др.] ; под общ. ред. Д.И. Биленко и С.Б. Венига
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Саратов : Изд-во Саратовского университета, 2014Физическая характеристика: 21 см.ISBN: 9785292042822 Серия: Материаловедение и технология новых материалов Предметная рубрика - Тема: Нанотехнологии -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.1я73-1 ; Ж6я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи