Тепловые МЭМС: основы расчета, проектирование, испытание : учебное пособие / В.К. Самойликов, С.П. Тимошенков, С.С. Евстафьев ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 2017Предметная рубрика - Тема: Микроэлектромеханические системы -- Проектирование -- Учебные издания для высших учебных заведений | Микроэлектромеханические системы -- Испытание -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З26я73-1 ; З291я73-1 ; З844.1я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи