Плазмохимические процессы и оборудование : учебное пособие / С.Е. Александров, А.А. Уваров ; М-во образования и науки Рос. Федерации, С.-Петерб. гос. политехн. ун-т
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во Политехнического университета, 2012Физическая характеристика: 391 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 9785742236689 Серия: Вакуумная техника Библиография: Библиогр.: с. 386-390 (65 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Плазмохимические методы -- Учебные издания Другие классификации: З844.15-060.7я7-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 386-390 (65 назв.)