Процессы полупроводниковых производств : учебное пособие; [для студентов бакалавриата, обучающихся по специальности 150600.62 "Материаловедение и технология новых материалов"] / Зиновьев В.Г., Карпов В.В., Фиалковский О.П. ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М.В. Ломоносова, Каф. материалов микро-, опто- и наноэлектроники
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Московская государственная академия тонкой химической технологии, 2011Физическая характеристика: 21 см.Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З843.308я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи