Новая концепция развития высокопроизводительной рентгеновской литографии / Н. И. Чхало
Язык: русский ; резюме, английский.Выходные данные: Нижний новгород : ИФМ РАН, 2024Физическая характеристика: 23 с. ; 21 см.Серия: Препринт ; № 818-24Примечания: Рез. англ..Библиография: Библиогр.: с. 17–22 (58 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Применение рентгенолитографии Другие классификации: З844.15-06 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж, Хран. | 2025-4/565 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | КН-П-7887 | Доступно | 1-4848164 |
Рез. англ.
Библиогр.: с. 17–22 (58 назв.)