Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем : учебное пособие; для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника" и 22900 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский гос. электротехнический ун-т "ЛЭТИ"
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : ЛЭТИ, 2012Физическая характеристика: 118 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 9785762911993 Серия: Учебное пособие Библиография: Библиогр.: с. 118 (16 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Подложки -- Обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений | Кремний -- Травление -- Учебные издания для высших учебных заведений УДК: 621.382:66.0(075.8)Другие классификации: З844.15-06я73-1 ; З843.322.4я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 118 (16 назв.)