Лазерные технологии, материалы и элементная база для микросистемной техники / Н. В. Прудников, М. А. Савельев ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение науки "Межведомственный центр аналитических исследований в области физики, химии и биологии при президиуме Российской академии наук" (МЦАИ РАН)
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МЦАИ РАН, 2020Физическая характеристика: 148 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785446529056 Библиография: Библиогр.: с. 145-147 (31 назв.).Предметная рубрика - Тема: Лазеры -- Применение в микроэлектронике | Микросистемная техника -- Производство Неконтролируемые предметные термины: лазеры индустриальные | фотонные кристаллы Другие классификации: З844.1-06 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Изложены особенности лазерных технологических процессов в микросистемной технике.
Библиогр.: с. 145-147 (31 назв.)